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加熱式電容膜片真空計SKY@CDG160D/CDG200D
點擊次數(shù)：132 更新時間：2024-11-19
 


加熱式電容膜片真空計

SKY@CDG160D/CDG200D

 

 

INFICON  SKY  CDG160D和CDG200D  高溫壓力計是實現(xiàn)

精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D  和CDG200D

真空計溫度分別控制在160°℃和200℃,具有的性






能，適用于苛刻的半導體和等離子過程。在1托至1000托

滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場

總線接口，能夠提供0至10伏、不受氣體類型限制的線性

壓力信號。INFICON  電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔

膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從

大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)

勢 。INFICON   CDG壓力傳感器品質本效

益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。

 

優(yōu)勢

·擁有成本更低，預熱速度快50%,節(jié)能，低功耗

·易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點

·輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移

·診斷端口用于快速維修和維護

·兩年保修服務， HT 加熱概念和真空計保護延長了使用壽

命

的信號穩(wěn)定性和可重復性，即使是最嚴苛的等離子

應用，都無需長期執(zhí)行重新校準

·合規(guī)和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

應用范圍

·蝕刻、CVD、PVD及其他半導體生產過程

·化學和腐蝕性高溫過程

·需要真空計保護的一般薄膜和真空過程

 



 

SKY@CDG160D/CDG200D

 

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1)   優(yōu)化的壓力控制信號濾波器設置

2)   不能使用現(xiàn)場總線接口

 

粗體=標準產品

其他法蘭類型可按要求提供。

 

 

638675996132237631146.png

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SKY@CDG160D/CDG200D

 

規(guī)格(以托為單位的標準產品)

 

測量范圍

托

1000

100             10

1

FS(滿刻度)

毫巴

帕

133,322

1333

13,332           1,333

133            13.3

133

1.3

精度1)

讀數(shù)%


0.4


溫度效應





需點

%FS/℃


0.005


滿量程

讀 數(shù) % / ℃


0.02


最大壓力

千帕(絕對)

400

260             260

260

分辨率

%FS


0.003


讀數(shù)

%FS


0.01


建議的讀數(shù)

%FS


0.05


建議的控制

壓力

 

%FS


 

0.5


溫度





運行(環(huán)境)2

℃


+10 .+50


在法蘭處烘烤

℃


≤200


存儲

℃


-20 .…+65


電源電壓



+21 …+30伏(直流)或±15伏(±5%)


加熱時功耗





CDG160D

W


≤18


CDG200D

W


≤25


運行溫度時的功耗 CDG160D

CDG200D

 

 

W

W


 

≤12

≤18


輸出信號(模擬)

伏(直流)


0.…+10


響應時間3)

毫秒


30


防護等級



IP 40


標準

CE符合性

ETL認證

SEMI合規(guī)性



 

EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010 UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1

SEMI S-2


電氣連接



D-Sub,15針，公頭


設定值



2個設定點(SP1、SP2)


繼電器觸點

伏(直流)/安(直


≤30/≤0.5


滯后

流 )

%FS


1


診斷端口

協(xié)議

讀

設置

暴露于真空的材料



 

RS232-C

壓力、狀態(tài)、ID

設定點、過濾器、調零、出廠設置復位、直流偏置 氧化鋁陶瓷(Al?O?)、不銹鋼(AISI 316L?)


1)在25°℃環(huán)境運行溫度下表現(xiàn)為非線性、滯后、再現(xiàn)性，運行兩小時后無溫度效應

2) 環(huán)境溫度>40℃,可能會使表面溫度高于SEMIS2 合規(guī)水平—標記“小心燙傷!"

3)增加10.…90% FS

4)18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe

 

 

 



 

 

 

 

 

SKY@CDG160D/CDG200D

 

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SKY@CDG160D/CDG200D

 

DEVICENET規(guī)格

 

DeviceNetTM

協(xié)議

DeviceNetTM,僅第2組從屬

數(shù)據(jù)率開關                         千波特

125、250、500或可網(wǎng)絡編程

電纜長度

125 kbps                           米(英尺)

250 kbps                           米(英尺)

500 kbps                           米(英尺)

 

500(1650)

250  (825)

100  (330)

MAC ID

兩個開關(地址00-63)或可網(wǎng)絡編程

數(shù)字功能

讀取壓力，選擇單位：托、毫巴、帕

脫氣功能，皮拉尼滿刻度調節(jié)

監(jiān)測真空計狀態(tài)

安全狀態(tài)允許定義出錯時的行為

詳細的警報和警告信息

模擬功能

0 …10伏模擬輸出壓力指示

兩個設定點繼電器A+B

視覺通訊指示燈

LED網(wǎng)絡狀態(tài)(綠色/紅色)

LED模塊狀態(tài)(綠色/紅色)

規(guī)格

DeviceNetTM“真空計設備概況"

設備類型

“CG"表示組合儀表

/O從屬傳訊

只輪詢

設定點繼電器

范圍

繼電器觸點

滯后

觸點額定值

 

毫巴

 

讀數(shù)%

伏/安(直流)

2

1×10°…100

常開，無電勢

10

60/0.5

DeviceNetTM的電源電壓 真空計的電源電壓

DeviceNetTM的連接器

伏/安(直流)

伏/安(直流)

+11-+25/0.5

+20 -+28/0.8

微型，5針

D-Sub,15針，公頭

真空計的連接器(模擬輸出、電源電壓、

設定點

 

 

PROFIBUS

Profibus


D規(guī)格

DP

 

波特率

千波特

兆 波 特

9.6/19.2/93.75/187.5/500

1.5/12

地址

兩 個 開 關 ( 地 址 0 0 - 1 2 7 ) 或 可 網(wǎng) 絡 編 程

數(shù)字功能


讀取壓力，選擇單位：托、毫巴、帕

脫氣功能，皮拉尼滿刻度調節(jié)

監(jiān)測真空計狀態(tài)、燈絲狀態(tài)

安全狀態(tài)允許定義出錯時的行為

詳 細 的 警 報 和 警 告 信 息

模擬功能


0…10伏模擬輸出壓力指示

兩 個 設 定 點 繼 電 器 A + B

設定點繼電器


2

范圍

毫巴

1×10?.…100

繼電器觸點


常開，無電勢

滯后

讀 數(shù) %

10

觸點額定值

伏/安(直流)

≤30/≤0.5

Profibus  DP的連接器


D-Sub,9  針，母頭

BPG 的連接器(模擬輸出、電源電壓、設 定 點 )


D-Sub,15    針，公頭

 

 

        


SKY@CDG160D/CDG200D

 

 

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